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Ge2Sb2Te5 박막의 상변화에 의한 기계적 물성 변화
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  • Ge2Sb2Te5 박막의 상변화에 의한 기계적 물성 변화
저자명
홍성덕,정성민,김성순,이홍림,Hong. Sung-Duk,Jeong. Seong-Min,Kim. Sung-Soon,Lee. Hong-Lim
간행물명
한국세라믹학회지
권/호정보
2005년|42권 5호|pp.326-332 (7 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Phase transformation effects on mechanical properties of $Ge_2Sb_2Te_5$, which is a promising candidate material for Phase Change Random Access Memory (PRAM), were studied. $Ge_2Sb_2Te_5$ thin films, which was thermally annealed with different conditions, were analyzed using XRD, AFM, 4-point probe method and reflectance measurement. As the temperature and the dwelling time increased, crystallity and grain size increased, which enhanced elastic modulus and hardness. Furthermore, N2 doping, which was used for better electrical properties, was proved to decrease elastic modulus and hardness of $Ge_2Sb_2Te_5$.