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와이어 본더 시스템의 Z축 표면 접촉 검출 알고리듬 개발
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  • 와이어 본더 시스템의 Z축 표면 접촉 검출 알고리듬 개발
저자명
김정한,Kim. Jung-Han
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2005년|22권 7호|pp.137-145 (9 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A new design of contact detection algorithm is proposed for the z-axis of a wire bonder that interconnects between pads and leads in semiconductor manufacturing processes. Fast and stable contact detection of the z-axis is extremely important fer maintaining proper quality in the fine pitch gold wire bonding process, which has a small pad size of below 70um. The new method is based on a statistical approach and designed for the discrete Kalman filter. Real wire bonding experimental results are presented to demonstrate the advantages of the proposed algorithm.