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Simulation of Piezoelectric Dome-Shaped-Diaphragm Acoustic Transducers
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  • Simulation of Piezoelectric Dome-Shaped-Diaphragm Acoustic Transducers
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저자명
Han. Cheol-Hyun,Kim. Eun-Sok
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2005년|5권 1호|pp.17-23 (7 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes the simulation of a micromachined dome-shaped-diaphragm acoustic transducer built on a $1.5{mu}m$ thick silicon nitride diaphragm ($2,000{mu}m$ in radius, with a circular clamped boundary on a silicon substrate) with electrodes and piezoelectric ZnO film in a silicon substrate. Finite element analysis with ANSYS 5.6 has been performed to analyze the static and dynamic behaviors of the transducer under both pressure and voltage loadings.