- Wafer Level Vacuum Packaged Out-of-Plane and In-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometers for Navigational Applications
- Wafer Level Vacuum Packaged Out-of-Plane and In-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometers for Navigational Applications
- ㆍ 저자명
- Kim. Illh-Wan,Seok. Seon-Ho,Kim. Hyeon-Cheol,Kang. Moon-Koo,Chun. Kuk-Jin
- ㆍ 간행물명
- Journal of semiconductor technology and science
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|5권 1호|pp.58-66 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전자공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.