- DC 마그네트론 스퍼터링 장치의 영구자석에 의한 자기장의 2차원 해석적 해
- ㆍ 저자명
- 유동훈,권득철,이종규,윤남식,김정형,신용현,Yu. Dong-Hun,Kwon. Deuk-Chul,Lee. Jong-Kyu,Yoon. Nam-Sik,Kim. Jung-Hyung,Shin. Yong-Hyeon
- ㆍ 간행물명
- 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|54권 7호|pp.326-331 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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