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스퍼터링법을 이용한 OLED용 Al 음전극 제작
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  • 스퍼터링법을 이용한 OLED용 Al 음전극 제작
저자명
금민종,김경환,Keum. Min-Jong,Kim. Kyung-Hwan
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2005년|18권 8호|pp.729-733 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Al electrode for OLED was deposited by FTS (Facing Targets Sputtering) system which can deposit thin films with low substrate damage. The Al thin films were deposited on the cell (LiF/EML/HTL/Bottom electrode) as a function of working gas such as Ar or Ar+kr mixed gas. Also Al thin films were prepared with working gas pressure (1, 6 mTorr). The film thickness and I-V curve of Al/cell were measured and evaluated. In the results, when Al thin films were deposited using pure Ar gas, the turn-on voltage of Al/cell was about 11 V. And using the Ar:Kr($75\%:25\%$) mixed gas, the turn-on voltage of Al/cell decreased to about 7 V.

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