CoFeNi 합금은 HDD, MEMS 분야에서 head core 재료로 쓰이는 permalloy(FeNi)합금보다 뛰어난 우수한 자기적 특성을 가진 재료로써 최근 많이 연구되어지고 있다. CoFeNi 합금의 조성과 전기도금 시 전류조건에 따른 미세구조와 결정학적 특성이 자기 특성에 미치는 영향을 조사하였으며, 높은 포화자화와 낮은 보자력을 갖는 CoFeNi 삼원계 합금을 전기도금 방식으로 제조하는데 성공하였다. 포화자화 1.9 T, 보자력 0.16 A/m를 갖는 대표적인 CoFeNi film의 조성은 $Co_{30};Fe_{34};Ni_{36}(at\%)$이며, 미세결정립과 ffc-bcc 상의 혼재가 낮은 보자력을 갖는 요인임을 XRD, TEM의 결과로부터 확인 하였다.
CoFeNi alloys are some of the most studied soft magnetic materials because of their applications as write-head core materials in HDD and MEMS. Ternary CoFeNi films with high saturation magnetic flux density, Bs and low coercivity, He were successfully grown by electrodeposition. The optimal composition was $Co_{30};Fe_{34};Ni_{36}(at\%)$, and Bs and Hc were 1.9 T and 0.16 A/m, respectively. The XRD and TEM results show that the low Hc of the CoFeNi films was due to very fine crystal particles and mixed fcc and bcc phases.
