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CFUBMS을 이용한 ZrCrAIN 나노복합 박막의 구조와 기계적 특성
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  • CFUBMS을 이용한 ZrCrAIN 나노복합 박막의 구조와 기계적 특성
저자명
김연준,이호영,신경식,정우성,한전건,Kim. Youn J.,Lee. Ho Y.,Shin. Kyung S.,Jung. Woo S.,Han. Jeon G.
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2005년|38권 5호|pp.183-187 (5 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The quaternary ZrCrAIN nanocomposite thin films are synthesized by Closed-Field Unbalanced Magnetron Sputtering (CFUBMS). Microstructure and mechanical properties of ZrCrAIN nanocomposite thin films are studied. Grain refinement of ZrCrAIN nanocomposite thin film is occurred by controlling $N_{2}$ partial pressure. Maximum hardness value according to the various $N_{2}$ partial pressures is obtained at 45 GPa. It is also conformed that critical value of the grain size (d) needs to achieve the maximum hardness.