- Effects of Phase Difference between Voltage loaves Applied to Primary and Secondary Electrodes in Dual Radio Frequency Plasma Chamber
- Effects of Phase Difference between Voltage loaves Applied to Primary and Secondary Electrodes in Dual Radio Frequency Plasma Chamber
- ㆍ 저자명
- Kim. Heon-Chang
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|4권 2호|pp.11-14 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
