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Er 이온 주입된 GaN의 광학적 특성
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  • Er 이온 주입된 GaN의 광학적 특성
저자명
손창식,Son. Chang-Sik
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2005년|18권 12호|pp.1101-1105 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have investigated the optical properties of Erbium (Er)-implanted GaN by photoluminescence (PL). Various doses of Er ion were implanted on GaN epilayers by ion implantation. Visible green emission lines due to inner 4f shell transitions for $Er^{3+}$ were observed from the PL spectrum of Er-implanted GaN. The emission spectrum consists of two narrow green lines at 537 and 558 nm. The green emission lines are identified as $Er^{3+}$ transitions from the $^{5}H_{11/2}$ and $^{4}S_{3/2}$ levels to the $^{4}I_{15/2}$ ground state. The stronger peaks in the case with the dose of $5{ imes}10^{14}cm^{-2}$, together with the relatively higher intensity of the $Er^{3+}$ luminescence in the lower doped sample. It implies that some damage remains in the case with the dose of $1{ imes}10^{16}cm^{-2}$. The peak positions of emission lines due to inner 4f shell transitions for $Er^{3+}$ do not change with increasing temperature. It indicates that $Er^{3+}$ related emission depends very little on the ambient temperature.