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산소 플라즈마 처리후의 이차전자방출계수(γ)를 이용한 MgO 보호막의 일함수(φW) 변화
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  • 산소 플라즈마 처리후의 이차전자방출계수(γ)를 이용한 MgO 보호막의 일함수(φW) 변화
저자명
정재천,유세기,조재원,Jeong. Jae-Cheon,Yu. SeGi,Cho. Jaewon
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2005년|18권 3호|pp.259-263 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The changes in secondary electron emission coefficient(${gamma}$) and work function($Phi$$_{omega}$) have been studied on the surface of MgO protective layer aster plasma(Ar. $O_2$) treatment using ${gamma}$-focused ion beam (${gamma}$-FIB) system. The values of ${gamma}$ varied as follows: $O_2$-treated MgO > Ar-treated MgO > Non-treated MgO, and the work functions varied in the reverse order. The result indicates that both the physical etching and the chemical reaction of $O_2$-plasma removed the contaminating materials from the surface of MgO.