- 산소 플라즈마 처리후의 이차전자방출계수(γ)를 이용한 MgO 보호막의 일함수(φW) 변화
- ㆍ 저자명
- 정재천,유세기,조재원,Jeong. Jae-Cheon,Yu. SeGi,Cho. Jaewon
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|18권 3호|pp.259-263 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
The changes in secondary electron emission coefficient(${gamma}$) and work function($Phi$$_{omega}$) have been studied on the surface of MgO protective layer aster plasma(Ar. $O_2$) treatment using ${gamma}$-focused ion beam (${gamma}$-FIB) system. The values of ${gamma}$ varied as follows: $O_2$-treated MgO > Ar-treated MgO > Non-treated MgO, and the work functions varied in the reverse order. The result indicates that both the physical etching and the chemical reaction of $O_2$-plasma removed the contaminating materials from the surface of MgO.