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진공증착법으로 제조한 In2O3 나노벨트막의 NO가스감지특성
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  • 진공증착법으로 제조한 In2O3 나노벨트막의 NO가스감지특성
저자명
최무희,마대영,Choi. Mu-Hee,Ma. Tae-Young
간행물명
센서학회지
권/호정보
2006년|15권 6호|pp.406-410 (5 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The films of indium oxide $In_{2}O_{3}$) were deposited onto $SiO_{2}$ coated Si wafers by a thermal evaporation method. Substrate temperature was varied from $25^{circ}C$ to $300^{circ}C$. Deposition rate increased to $250^{circ}C$ and then decreased rapidly. The crystallographic properties and surface morphologies of the films were investigated by X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscope (SEM), respectively. The films deposited at $250^{circ}C$ were found to have a nanobelt structure. Resistor-type gas-sensors were fabricated with $In_{2}O_{3}$ films using Pt as electrodes. The resistance variation of $In_{2}O_{3}$ films with the concentration of NO gas was measured. The $In_{2}O_{3}$ films deposited at $250^{circ}C$ showed the highest sensitivity to the NO gas.