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아르곤 가스만을 이용하여 PES 기판 상에 성장시킨 플렉시블 유기발광소자용 비정질 IZO 애노드 박막의 특성
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  • 아르곤 가스만을 이용하여 PES 기판 상에 성장시킨 플렉시블 유기발광소자용 비정질 IZO 애노드 박막의 특성
저자명
배정혁,문종민,정순욱,강재욱,김한기,Bae. Jung-Hyeok,Moon. Jong-Min,Jung. Soon-Wook,Kang. Jae-Wook,Kim. Han-Ki
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2006년|19권 12호|pp.1134-1139 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Electrical, optical, and structural properties of indium zinc oxide (IZO) anode films grown by a RF magnetron sputtering were investigated as functions of RF power and working pressure in pure Ar ambient. To investigate electrical, optical and structural properties of IZO anode films, 4-point probe and UV/VIS spectrometry, and X-ray diffraction (XRD) were performed, respectively. A sheet resistance of $15.2{Omega}/{square}$, average transmittance above 80 % in visible range, expecially above 85 % in 550 nm, and root mean square roughness of 1.13 nm were obtained from optimized IZO anode films grown in oxygen free ambient. All samples show amorphous structure regardless of RF power and working pressure due to low substrate temperature. In addition, XPS depth profile obtained from IZO/PES exhibits that there is no obvious evidence of interfacial reaction between IZO and PES substrate. Furthermore, current-voltage-luminance of the flexible phosphorescent flexible OLEDs fabricated on IZO anode shows dependence on sheet resistance of the IZO anode. These results indicate that the IZO anode is a promising candidate to substitute conventional ITO anode for high-quality flexible displays.