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Skull melting법에 의해 성장된 rutile 단결정 분석
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  • Skull melting법에 의해 성장된 rutile 단결정 분석
저자명
석정원,최종건,Seok. Jeong-Won,Choi. Jong-Koen
간행물명
한국결정성장학회지
권/호정보
2006년|16권 5호|pp.181-188 (8 pages)
발행정보
한국결정성장학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

스컬용융법에 의해 성장시킨 rutile단결정을 성장 축과 수평 또는 수직으로 절단한 후 ${phi}5.5mmx1.0mm$ 크기의 웨이퍼로 양면연마 하였다. 연마한 흑색 웨이퍼들은 $1200^{circ}C$에서 $3{sim}15$시간, $1300^{circ}C$에서 $10{sim}50$시간 annealing을 행함에 의해 옅은 황색으로 변화되었다. Annealing 후 구조적 및 광학적 특성은 비중, SEM-EBSP, XRD, FT-IR, laser Raman, PL 그리고 XPS 등으로 분석하였고, 이들 결과들은 공기중의 무게 증가, 수중의 무게 및 비중의 감소,침상의 2차상, 산소이온 확산 및 $Ti^{3+}$ 이온이 감소되는 것으로 분석되었다. 이는 스컬용융법에 의해 성장된 rutile 단결정에 $O_v,;Ti^{3+},;O_v-Ti^{3+}$ interstitial 그리고 $F^+-H^+$와 같은 결함의 존재를 의미한다.

기타언어초록

Rutile single crystals grown by skull melting method were cut parallel and perpendicular to growth axis, and both sides of the cut wafers (${phi}5.5mmx1.0mm$) were then polished to be mirror surfaces. The black wafers were changed into pale yellow color by annealing in air at 1200 and $1300^{circ}C$ for $3{sim}15;and;10{sim}50$ hours, respectively. After annealing, structural and optical properties were examined by specific gravity (S.G), SEM-electron backscattered pattern (SEM-EBSP), X-ray diffraction (XRD), FT-IR transmittance spectra, laser Raman spectroscopy (LRS), photoluminescence (PL) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). These results are analyzed increase of weight in air, decrease of weight in water and specific gravity, shown secondary phase of needle shape, diffusion of oxygen ion and increase of $Ti^{3+}$. From the above results, we suggest that the skull melting method grown rutile single crystals contain defect centers such as $O_v,;Ti^{3+},;O_v-Ti^{3+}$ interstitials and $F^+-H^+$.