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고밀도 광기록을 위한 GeSbTe 박막의 Wet-Etching 특성연구
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  • 고밀도 광기록을 위한 GeSbTe 박막의 Wet-Etching 특성연구
  • Wet-Etching Characteristics of Inorganic GeSbTe Films for High Density Optical Data Storage
저자명
김진홍,김선희,이준석,Kim. Jin-Hong,Kim. Sun-Hee,Lee. Jun-Seok
간행물명
정보저장시스템학회논문집
권/호정보
2006년|2권 3호|pp.196-200 (5 pages)
발행정보
정보저장시스템학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We are developing a phase change etching technology using an inorganic photoresist of GeSbTe film which is the recording material of the phase change disc. A selective etching phenomenon between amorphous and crystalline states can be utilized with an alkaline etchant. Phase-change pits could be formed using this technique, in which the etching selectivity is strongly dependent on the concentration of the etchant. The degree of etching was investigated by the transmittance between crystalline and amorphous films after the wet-etching. The pits patterned on the disc could be observed by AFM after wet-etching.