본 논문에서는 개구를 갖는 접지면의 높은 특성 임피던스를 이용하여 주파수에 대한 민감도가 좋고 높은 품질 계수를 갖는 미앤더 라인 인덕터들을 설계하였다. 주파수에 대한 민감도는 자기 공진 주파수 (SRF) 대신에 해석 주파수 범위에 대한 유효 인덕턴스 변화량으로 새로 정의 되었다. 등가 집중 소자 회로는 고주파 인덕터의 특성을 설명하기 위해 전개되었다. 개구 접지면을 갖는 4 nH 미앤더 라인 인덕터는 0.45 nH/GHz의 좋은 민감도와 0.7 GHz에서 86의 Q 값을 갖는다.
In this paper, we design the meander line inductors with high sensitivity and high quality factor(Q) using high characteristic impedance of aperture ground plate. Sensitivity as a frequency is new defined by variation of effective inductance per analysis frequency range instead of self resonance frequency (SRF). An equivalent lumped circuit is derived to explain the characteristic of high frequency inductor. The 4 nH meander line inductor with aperture ground plate has 0.45 nH/GHz of good sensitivity and 86 of Q at 0.7 GHz.
