- In-situ 진공게이지 교정장치 개발
- ㆍ 저자명
- 홍승수,임인태,조문재,정원호,Hong. S.S.,Lim. I.T.,Jho. M.J.,Chung. W.H.
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2006년|15권 6호|pp.605-611 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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정적법(constant volume method)을 이용하여 $1Pasim100kPa$ 영역에서 진공게이지의 직접교정 (direct calibration) 장치를 개발하였다. 이 장치는 피 교정 게이지의 이동 없이 in-situ 상태에서 비교교정(comparison calibration)도 가능하다. 이 장치가 개발됨으로서 산업체 교정기관의 생산성을 높이고 개발도상국에 국가 진공표준과 교정기술을 보급할 수 있게 되었다.
We have developed in-situ vacuum gauge calibration system in the range 1 Pa to 100 kPa by using constant volume method. The system is capable of gauge calibration by comparison method without demount the reference gauges. The system will be useful for dissemination of national vacuum standards to foreign developing countries and domestic industries.