- Motion Error Compensation Method for Hydrostatic Tables Using Actively Controlled Capillaries
- Motion Error Compensation Method for Hydrostatic Tables Using Actively Controlled Capillaries
- ㆍ 저자명
- Park. Chun Hong,Oh. Yoon Jin,Hwang. Joo Ho,Lee. Deug Woo
- ㆍ 간행물명
- Journal of mechanical science and technology
- ㆍ 권/호정보
- 2006년|20권 1호|pp.51-58 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
