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채널구조와 바이어스 조건에 따른 Si0.8Ge0.2 pMOSFET의 저주파잡음 특성
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  • 채널구조와 바이어스 조건에 따른 Si0.8Ge0.2 pMOSFET의 저주파잡음 특성
저자명
최상식,양현덕,김상훈,송영주,이내응,송종인,심규환,Choi. Sang-Sik,Yang. Hun-Duk,Kim. Sang-Hoon,Song. Young-Joo,Lee. Nae-Eung,Song. Jong-In,Shim. Kyu-Hw
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2006년|19권 1호|pp.1-6 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

High performance $Si_{0.8}Ge_{0.2}$ heterostructure metal-oxide-semiconductor field effect transistors (MOSFETs) were fabricated using well-controlled delta-doping of boron and $Si_{0.8}Ge_{0.2}$/Si heterostructure epitaxal layers grown by reduced pressure chemical vapor deposition. In this paper, we report 1/f noise characteristics of the SiGe pMOSFETs measured under various bias conditions of the gate and drain voltages changing in linear operation regions. From the noise spectral density, we found that the gate and drain voltage dependence of the noise represented same features, as usually scaled with $f^{-1}$ However, 1/f noise was found to be much lower in the device with boron delta-doped layer, by a factor of $10^{-1}_10^{-2}$ in comparison with the device fabricated without delta-doped layer. 1/f noise property of delta-doped device looks important because the device may replace bipolar transistors most commonly embedded in high-frequency oscillator circuits.