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단일탐침법을 사용한 평판형 광원의 제논 (Xe) 플라즈마 특성 연구
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  • 단일탐침법을 사용한 평판형 광원의 제논 (Xe) 플라즈마 특성 연구
저자명
백광현,이종찬,황명근,최용성,박대희,Pack. Gwang-Hyeon,Lee. Jong-Chan,Hwang. Myung-Keun,Choi. Yong-Sung,Park. Dae-Hee
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2006년|55권 1호|pp.50-54 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The study on discharge of the flat lamp lighting source has been requested increasingly. To improve the brightness, life time and efficiency of flat lamp, the plasma diagnosis of flat lamp lighting source is very important. When a distance of discharge electrode is 5.5mm and width is 16.5mm, we measured electron temperature and electron density with single Langmuir probe in flat lamp. Pressure conditions to test the plasma discharge from 100 Torr to 300 Torr. The power supply was PDS-4000 with frequency 20kHz and duty ratio $20\%.$ Form these experimental results, electron temperature was decreased according to increase the gas pressure and the voltage while electron density was increased.