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전기 및 유체 동시접속이 가능한 멀티칩 미소전기유체통합벤치의 설계, 제작 및 성능시험
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저자명
장성환,석상도,조영호,Chang. Sung-Hwan,Suk. Sang-Do,Cho. Young-Ho
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
2006년|30권 4호|pp.373-378 (6 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We present the design, fabrication, and characterization of a multi-chip microelectrofluidic bench, achieving both electrical and fluidic interconnections with a simple, low-loss and low-temperature electrofluidic interconnection method. We design 4-chip microelectrofluidic bench, having three electrical pads and two fluidic I/O ports. Each device chip, having three electrical interconnections and a pair of two fluidic I/O interconnections, can be assembled to the microelectofluidic bench with electrical and fluidic interconnections. In the fluidic and electrical characterization, we measure the average pressure drop of $13.6{sim}125.4$ Pa/mm with the nonlinearity of 3.1 % for the flow-rates of $10{sim}100{mu}l/min$ in the fluidic line. The pressure drop per fluidic interconnection is measured as 0.19kPa. Experimentally, there are no significant differences in pressure drops between straight channels and elbow channels. The measured average electrical resistance is $0.26{Omega}/mm$ in the electrical line. The electrical resistance per each electrical interconnection is measured as $0.64{Omega}$. Mechanically, the maximum pressure, where the microelectrofluidic bench endures, reaches up to $115{pm}11kPa$.