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압전식 구동기를 이용한 양방향 마이크로 펌프의 성능에 관한 연구
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  • 압전식 구동기를 이용한 양방향 마이크로 펌프의 성능에 관한 연구
저자명
최종원,윤재성,김민수,Choi. Jong-Won,Yoon. Jae-Sung,Kim. Min-Soo
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B
권/호정보
2006년|30권 4호|pp.350-357 (8 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A new valveless micropump for bi-directional application has been developed and tested. The micropump was fabricated on silicon and glass substrates by micromachining process. The micropump in this study consists of a membrane actuator, a pumping chamber, fluidic channels and two piezoelectric ceramic films. The channels and pumping chamber were etched on a glass wafer and the membrane was made on a silion wafer which is actuated by a piezoelectric ceramic (PZT) film. The geometry of the micropump was optimized by numerical analysis and the performance of the micropump was investigated by the experiments. The maximum flow rate was $323{mu}L/min$ and the maximum back pressure was 294 Pa when the membrane actuator of $10{ imes}10mm^2$ was driven at 130 Hz and 385 V.