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레이저 간섭계를 이용한 이동형 미세 변위 측정에 관한 연구
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  • 레이저 간섭계를 이용한 이동형 미세 변위 측정에 관한 연구
저자명
최경현,양형찬,Choi. K.H.,Yang. H.C.
간행물명
한국동력기계공학회지
권/호정보
2006년|10권 2호|pp.99-103 (5 pages)
발행정보
한국동력기계공학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The laser interferometer has been used for measurement of the micro displacement error. Although the laser interferometer is widely accepted as a tool for measurement of motion accuracy, the set-up procedure is time-consuming because of the strict requirement on alignment between a laser head and optic units. This paper addresses the development of a laser interferometer to measure the micro displacement for a micro machine. The portable laser interferometer which integrates a laser probe and optics, is developed for the convenient measurement. For the experiment, moving mirror set up on the micro stage. The velocity decoding board is also added to calculate doppler shift frequency directly. The output signal is obtained and analyzed by LabView. Finally experiments are found out the relation between micro displacement and output signal.