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스퍼터링 조건이 티탄산화물박막의 전기적 착색 특성에 미치는 영향
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  • 스퍼터링 조건이 티탄산화물박막의 전기적 착색 특성에 미치는 영향
저자명
이길동,Lee. Kil-Dong
간행물명
한국태양에너지학회 논문집
권/호정보
2006년|26권 4호|pp.55-61 (7 pages)
발행정보
한국태양에너지학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Titanium oxide ($TiO_2$) films are deposited on the indium tin oxide (ITO) substrate in an $Ar/O_2$ atmosphere by using reactive RF (Radio Frequency) magnetron sputtering technique, and Electrochromic properties and durability of $TiO_2$ films deposited at different preparation conditions are investigated by using UV-VIS spectrophotometer and cyclic voltammetry Li+ interalation/deintercalation in $TiO_2$ films shows that the electrochromic properties and durability of as-deposited films strongly depend on gas pressure $TiO_2$ films formed in our sputtering conditions are found to remain transparent, irrespective of their Li+ ion contents. The optimum sputtering conditions for film as passive counter electrode in electrochromic devices are working pressure of $1.0;{ imes};10^{-2};torr$ and oxygen flow raes of $10{sim}15;sccm$, respectively