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정전기력을 이용한 유리 판넬의 비접촉 지지 및 반송
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저자명
전종업,Jeon. Jong-Up
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2006년|23권 3호|pp.76-85 (10 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In the manufacture of liquid crystal display devices, there is a strong demand for contactless glass panel handling devices that can manipulate a glass panel without contaminating or damaging it. To fulfill this requirement, an electrostatic transportation device for glass panels is proposed. This device can directly drive a glass panel and simultaneously provide contactless suspension by electrostatic forces. To accomplish these two functions, a feedback control strategy and the operational principle of an electrostatic induction motor are utilized. The stator possesses electrodes which exert electrostatic farces on the glass panel and are divided into a part responsible for suspension and one for transportation. To accomplish dynamic stability and a relatively fast suspension initiation time, the structure of the electrode for suspension possesses many boundaries over which potential differences are formed. In this paper, an electrode pattern suitable for the suspension of glass panels is described, followed by the structure of the transportation device and its operational principle. Experimental results show that the glass panel has been transported with a speed of approximately 25.6 mm/s while being suspended stably at a gap length of 0.3 mm.