기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
실리콘 연삭력에 관한 연구
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 실리콘 연삭력에 관한 연구
저자명
이충석,채승수,김종표,이종찬,최환,Lee. Choong-Seok,Chae. Seung-Su,Kim. Jong-Pyo,Lee. Jong-Chan,Choi. Hwan
간행물명
한국기계가공학회지
권/호정보
2006년|5권 1호|pp.33-38 (6 pages)
발행정보
한국기계가공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Silicon has been widely used in electronic parts as a semiconductor equipment. It, however, requires much effort to grind without microcrack and chipping because of its high hardness and brittleness. So far, many studies for the grinding of engineering ceramics have been done, but not for the grinding of silicon. In this paper, a theoretical analysis on the grinding forces is introduced. Grinding experiments were performed at various grinding conditions including grinding directions (Up grinding and Down grinding), table speeds and depth of cuts. The grinding forces were measured to compare at various grinding conditions. The experimental values agree well with theoretical ones.