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수소화 처리된 비정질 칼코게나이드 박막의 광학적 특성
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  • 수소화 처리된 비정질 칼코게나이드 박막의 광학적 특성
저자명
남기연,김준형,조성준,이현용,Nam. Gi-Yeon,Kim. Jun-Hyung,Cho. Sung-June,Lee. Hyun-Yong
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2006년|19권 5호|pp.450-456 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, we report the changes of morphology, transmittance and photoluminescence (PL) in hydrogenated amorphous $As_{40}Ge_{10}Se_{15}S_{35}$ thin films, thermally deposited at the vapor incidence angles (${ heta}$) of $0^{circ},;45^{circ};and;80^{circ}$. The hydrogenation was carried out under the condition of a $H_2$ pressure ($P_H$) of 20 atm and an annealing temperature range, $T_{Anneal}$ of $150^{circ}C{sim}210^{circ}C$. A columnar structures with an inclination angle of approximately $65{sim}70^{circ}$ was formed in $80^{circ}$-deposited films and then the columnar was broken after hydrogenation. Transmittance increases with an increase of deposition angle and by the hydrogenation. In particular, a broad PL band on the extended region is observed in obliquely deposited films and it increases during the hydrogenation.