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RF magnetron sputter에 의해 제조된 AZO/Ag/AZO 다층박막의 Ag 두께가 전기적 광학적 특성에 미치는 영향
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  • RF magnetron sputter에 의해 제조된 AZO/Ag/AZO 다층박막의 Ag 두께가 전기적 광학적 특성에 미치는 영향
저자명
안진형,강태원,김동원,김상호,An. Jin-Hyung,Kang. Tea-Won,Kim. Dong-Won,Kim. Sang-Ho
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2006년|39권 1호|pp.9-12 (4 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Al-doped ZnO(AZO)/Ag/AZO multi-layer films deposited on PET substrate by RF magnetron sputtering have a much better electrical properties than Al-doped ZnO single-layer films. The multi-layer structure consisted of three layers, AZO/Ag/AZO, the optimum thickness of Ag layers was determined to be $112{AA}$ for high optical transmittance and good electrical conductivity. With about $1800{AA}$ thick AZO films, the multi-layer showed a high optical transmittance in the visible range of the spectrum. The electrical and optical properties of AZO/Ag/AZO were changed mainly by thickness of Ag layers. A high quality transparent electrode, having a resistance as low as $6;W/{square}$ and a high optical transmittance of 87% at 550 nm, was obtained by controlling Ag deposition parameters.