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Characterization of BST Thin Films using MgO(100) Buffer Layer for Tunable Device
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  • Characterization of BST Thin Films using MgO(100) Buffer Layer for Tunable Device
  • Characterization of BST Thin Films using MgO(100) Buffer Layer for Tunable Device
저자명
Lee. Cheol-In,Kim. Kyoung-Tae,Kim. Chang-Il
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2006년|7권 2호|pp.67-71 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, we have investigated the structure and dielectric properties of the $(Ba_{0.6}Sr_{0.4})TiO_3$ (BST) thin films fabricated on MgO(100)/Si substrate by an alkoxide-based sol-gel method. Both the structure and morphology of those films were analyzed by x-ray diffraction (XRD) and atomic force microscope (AFM). For the MgO(100)/Si substrate, the BST thin films exhibited highly (100) orientation. The highly (100)-oriented BST thin films showed high dielectric constant, tunability, and figure of merit (FOM). The dielectric constant, dielectric loss and tunability of the BST thin films annealed at $700^{circ}C$ deposited on the MgO(100)/Si substrate measured at 10 kHz were 515.9, 0.0082, and 54.3%, respectively.