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기체레이저의 여기를 위한 용량결합고주파(ccrf) 방전시스템
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  • 기체레이저의 여기를 위한 용량결합고주파(ccrf) 방전시스템
저자명
최상태,Choi. Sang-Tae
간행물명
照明·電氣設備學會論文誌
권/호정보
2006년|20권 1호|pp.19-26 (8 pages)
발행정보
한국조명전기설비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

용량결합고주파(ccrf)방전은 홀로우음극방전이나, 직류방전에 비해서 방전관의 구조가 간단하고 균질한 플라즈마를 발생시키는 장점을 가지고 있다. 본 논문에서는 ccrf-방전을 기체레이저의 여기에 적용하기 위한 목표를 가지고 방전시스템을 선계, 제작하여 연속운전의 균질한 방전을 실현하였다. 13.56[MHz]의 rf-전력을 방전 내부로 효율적으로 결합하기 위해서 내부직경 5[mm]의 레이저방전관에 특수하게 제작된 rf-전극을 사용하였다. 또한 방전관의 임피던스가 rf-발생기의 풀력저항 50[$Omega$]에 정합을 이루는 임피던스 정합회로를 개발하였다.

기타언어초록

The ccrf-discharge has in comparison with the hollow-cathode discharge and DC-discharge some advantages: Simple design of the tube and homogeneous plasma. The ccrf-discharge was researched with the goal, to use on the excitation of the gas laser. In this work a rf-exciting system was planned and developed. With it a homogeneous discharge was produced in the cw operation. To supply the rf-power with the frequency 13.56[MHz] effectively in the discharge, laser tube were used with inner diameter of 5[mm] and the specially developed rf-electrodes. A matching circuit was composed also. Thereby the impedance of the discharge tube was adjusted to the 50[$Omega$] output resistance of the rf-source.