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플라즈마 디스플레이 패널의 격벽형성의 에칭 메커니즘
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  • 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽형성의 에칭 메커니즘
  • Etching Mechanism of Barrier Ribs in Plasma Display Panel
저자명
정유진,전재삼,성우경,김형순,Chong. Eu-Gene,Jeon. Jae-Sam,Sung. Woo-Kyung,Kim. Hyung-Sun
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2006년|5권 3호|pp.33-36 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

To produce a fine structure with uniform surface of barrier ribs in PDP, acid etching process has been used in manufacture process. It is necessary to understand the mechanism of etching, particularly on the interface of ceramic fillers and matrix glass. We investigated the effect of ceramic fillers (ZnO, $Al_2O_3$) on the microstructure of borate glass system to find an etching mechanism of barrier ribs. The barrier ribs was etched with several steps, dissolving a small amount of residual glass, taking out alumina fillers, and removing a cluster type of ZnO fillers and glass matrix.