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라만 맵핑 방식을 사용한 다이아몬드상 카본박막의 미세구조변화에 관한 연구
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  • 라만 맵핑 방식을 사용한 다이아몬드상 카본박막의 미세구조변화에 관한 연구
저자명
최원석,Choi. Won-Seok
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2006년|19권 7호|pp.618-623 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Hydrogenated Diamond-like carbon (DLC) films were prepared by the radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF PECVD) method on silicon substrates using methane $(CH_4)$ and hydrogen $(H_2)$ gas. The wear track on the DLC films was examined after the ball-on disk (BOD) measurement with a Raman mapping method. The BOD measurement of the DLC films was performed for 1 to 3 hours with a 1-hour step time. The sliding traces on the hydrogenated DLC film after the BOD measurement were also observed using an optical microscope. The surface roughness and cross-sectional images of the wear track were obtained using an atomic force microscope (AFM). The novel Raman mapping method effectively shows the graphitization of DLC films of $300{mu}m imes300{mu}m$ area according to the sliding time by G-peak positions (intensities) and $I_D/I_G$ ratios.