기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
에피층 농도 변화에 따른 Multi-RESURF SOI LDMOSFET의 전기적 특성 분석
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 에피층 농도 변화에 따른 Multi-RESURF SOI LDMOSFET의 전기적 특성 분석
저자명
김형우,서길수,방욱,김기현,김남균,Kim. Hyoung-Woo,Seo. Kil-Soo,Bahng. Wook,Kim. Ki-Hyun,Kim. Nam-Kyun
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2006년|19권 9호|pp.813-817 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

In this paper, we analyzed the breakdown voltage and on-resistance of the multi-RESURF SOI LDMOSFET as a function of epi-layer concentration. P-/n-epi layer thickness and doping concentration of the proposed structure are varied from $2{sim}5{mu}m;and;1{times}10^{15}/cm^{3}^{sim}9{times}10^{15}/cm^{3}$ to find optimum breakdown voltage and on-resistance of the proposed structure. The maximum breakdown voltage of the proposed structure is $224;V;at;R_{on}=0.2{Omega}-mon^{2};with;P_{epi}=3{times}10^{15}/cm^{3},;N_{epi}=7{times}10^{15}/cm^{3};and;L_{epi}=10{mu}m$. Characteristics of the device are verified by two-dimensional process simulator ATHENA and device simulator ATLAS.