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Mn-Zn-Fe-O 금속타깃을 이용한 수직자기기록디스크의 하지연자성층용 Mn-Zn ferrite 박막제작
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  • Mn-Zn-Fe-O 금속타깃을 이용한 수직자기기록디스크의 하지연자성층용 Mn-Zn ferrite 박막제작
저자명
공석현,김경환,Kong. Sok-Hyun,Kim. Kyung-Hwan
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2006년|19권 9호|pp.883-887 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In order to attain high-rate deposition of Mn-Zn ferrite thin film for soft magnetic underlayer in perpendicular magnetic recording media, a reactive sputtering using powder-metal targets under the mixture gas of Ar and $O_{2}$ was performed. It was succeeded that Mn-Zn ferrite films with (111) crystal orientation were deposited on Pt(111) underlayer without any annealing process. The film revealed 3.4 kG of 4 ${pi}Ms$, 70 Oe of coercivity. The deposition rate of the new method was 16 times as high as that of the conventional method using ferrite target.