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복합동시증착 방법을 이용한 In-situ $MgB_2$ 박막제조
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  • 복합동시증착 방법을 이용한 In-situ $MgB_2$ 박막제조
저자명
송규정,김호섭,김태형,이영석,고락길,하홍수,하동우,오상수,문승현,박찬,유상임,Song. K.J.,Kim. H.S.,Kim. T.H.,Lee. Y.S.,Ko. R.K.,Ha. H.S.,Ha. D.W.,Oh. S.S.,Moon. S.
간행물명
한국초전도·저온공학회논문지
권/호정보
2006년|8권 3호|pp.18-22 (5 pages)
발행정보
한국초전도저온공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We obtained in-situ $MgB_2$ thin films in an one-step process using ESSD (Evaporation Sputtering Simultaneous Deposition) method. In our approach. the Ma evaporator is designed specially Mg and B are simultaneously evaporated and sputtered, respectively, in the specially designed ESSD chamber. The background pressure was less than $1{ imes}10^{-6}$ Torr. The substrate temperature was kept at 623 K. The film properties were investigated by both electrical resistivity and PPMS. As a result, typical $T_c$ of films was 11 K.