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초미세구조물 제조기술 개발, 생산공정 및 경비절감에 큰 활용 기대
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  • 초미세구조물 제조기술 개발, 생산공정 및 경비절감에 큰 활용 기대
저자명
박지연,Park. Ji-Yeon
간행물명
광학세계
권/호정보
2006년|103권 9호|pp.51-53 (3 pages)
발행정보
한국광학기기협회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

연구중심의 대학원 광주과학기술원 기전공학과의 레이저 나노가공연구실에서는 반도체 회사 및 관련 장비 제조업체들이 유용하게 활용할 수 있는 초미세구조물 제조하는 기술을 중점 개발하고 있다. 이를 통해 기존의 기술로는 불가능했던 제품의 가공을 가능하게 하거나 시간 및 경비가 많이 드는 현재의 생산 공정을 단순하고 경비가 절감되는 공정으로 대체하는데 유용하게 활용될 것으로 큰 기대를 모으고 있다.