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A New Strained-Si Channel Power MOSFET for High Performance Applications
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  • A New Strained-Si Channel Power MOSFET for High Performance Applications
  • A New Strained-Si Channel Power MOSFET for High Performance Applications
저자명
Cho. Young-Kyun,Roh. Tae-Moon,Kim. Jong-Dae
간행물명
ETRI journal
권/호정보
2006년|28권 2호|pp.253-256 (4 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We propose a novel power metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET) employing a strained-Si channel structure to improve the current drivability and on-resistance characteristic of the high-voltage MOSFET. A 20 nm thick strained-Si low field channel NMOSFET with a $0.75;{mu}m$ thick $Si_{0.8}Ge_{0.2}$ buffer layer improved the drive current by 20% with a 25% reduction in on-resistance compared with a conventional Si channel high-voltage NMOSFET, while suppressing the breakdown voltage and subthreshold slope characteristic degradation by 6% and 8%, respectively. Also, the strained-Si high-voltage NMOSFET improved the transconductance by 28% and 52% at the linear and saturation regimes.