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열처리조건에 따른 VO2 후막 급변온도센서의 특성연구
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  • 열처리조건에 따른 VO2 후막 급변온도센서의 특성연구
저자명
송건화,유광수,Song. K.H.,Yoo. K.S.
간행물명
센서학회지
권/호정보
2007년|16권 6호|pp.407-412 (6 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

For $VO_{2}$ sensors applicable to temperature measurement by using the nature of semiconductor to metal transition, the crystallinity, microstructure, and temperature vs. resistance characteristics were investigated systematically as a function of the annealing condition. The starting materials, vanadium pentoxide ($V_{2}O_{5}$) powders, were mixed with vehicle to form paste. This paste was screen-printed on $Al_{2}O_{3}$ substrates and then $VO_{2}$ thick films were heat-treated at $450^{circ}C$ to $600^{circ}C$, respectively, for 1 hr in $N_{2}$ gas atmosphere for the reduction. As results of the temperature vs. resistance property measurements, the electrical resistance of the $V_{2}O_{5}$ sensor in phase transition range was decreased by $10^{3.9}$ order. The presented critical temperature sensor could be used in fire-protection and control systems.