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Carbon Nanotube Synthesis using Magnetic Null Discharge Plasma Production Technology
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  • Carbon Nanotube Synthesis using Magnetic Null Discharge Plasma Production Technology
  • Carbon Nanotube Synthesis using Magnetic Null Discharge Plasma Production Technology
저자명
Sung. Youl-Moon
간행물명
Journal of electrical engineering & technology
권/호정보
2007년|2권 4호|pp.532-536 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Carbon nanotube (CNT) properties, produced using a magnetic null discharge (MND) plasma production technology, were investigated. We firstly deposited the Fe layer 200 nm in thickness on Si substrate by the magnetic null discharge sputter method at the substrate temperature of $300도C$, and then prepared CNTs on the catalyst layer by using the magnetic null discharge (MND) based CVD method. CNTs were deposited in a gas mixture of CH4 and N2 at a total pressure of 1 Torr by the MND-CVD method. The substrate temperature and the RF power were $650^{circ}C$ and 600W, respectively. The characterization data indicated that the proposed source could synthesize CNTs even under relatively severe conditions for the magnetic null discharge formation.