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표면접촉 인쇄방식을 이용한 극미세 3차원 형상의 이식공정에 관한 연구
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  • 표면접촉 인쇄방식을 이용한 극미세 3차원 형상의 이식공정에 관한 연구
저자명
박상후,정준호,최대근,김기돈,알리알툰,이응숙,양동열,공홍진,이광섭,Park. Sang-Hu,Jeong. Jun-Ho,Choi. Dae-Geun,Kim. Ki-Don,Altun. Ali Ozhan,Lee. Eung-Sug,Yang.
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2007년|24권 12호|pp.136-142 (7 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Precise fabrication of three-dimensional (3D) self-standing microstructures on thin glass plates via two-photon induced polymerization (TPP) has been an important issue for innovative 3D nanodevices and microdevices. However, there are still issues remaining to be solved, such as building 3D microstructures on opaque materials via TPP and being able to implant them as functional parts onto practical systems. To settle these issues simply and effectively, we propose a contact print lithography (CPL) method using an ultraviolet (UV)-curable polymer layer. We report some of the possibilities and potential of CPL by presenting our results for transplanting 3D microstructures onto large-area substrates and also our examination of some of the effects of the process parameters on successful transplantation.