- Ga+ 이온 조사를 통한 Co73Pt27-TiO2 수직자기 기록매체의 자기적 특성 변화
- ㆍ 저자명
- 김성동,박진주,Kim. Sung-Dong,Park. Jin-Joo
- ㆍ 간행물명
- 韓國磁氣學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|17권 6호|pp.221-225 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국자기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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[ $Co_{73}Pt_{27}-TiO_2$ ] 수직자기 기록매체에 대해 집속이온빔(FIB)을 이용한 $Ga^+$ 이온 조사에 따른 자기적 특성의 변화를 조사하였다. $Ga^+$ 이온 도즈량을 $1 imes10^{15}ions/cm^2$에서 $30 imes10^{15}ions/cm^2$까지 증가시켰을 때 도즈량 $20 imes10^{15}ions/cm^2$ 이상에서 수직자기이방성 및 강자성 특성이 사라지는 것이 관찰되었으며, 이는 스퍼터링 효과에 따른 수직자기 기록층의 두께 감소보다는 $Ga^+$ 이온 주입에 따른 수직자기 기록매체내의 조성 분포의 변화에 따른 것으로 보인다. $Ga^+$ 이온 조사법을 이용하며 $70 imes70nm^2,;100 imes100nm^2$ 크기의 자기구조체 패턴을 형성하였다.
The effects of $Ga^+$ ion irradiation on the magnetic properties of the $Co_{73}Pt_{27}-TiO_2$ perpendicular magnetic recording media were investigated. As $Ga^+$ ion dose increased from $1 imes10^{15}ions/cm^2;to;30 imes10^{15}ions/cm^2$, the perpendicular magnetic anisotropy was degraded and no longer observed above $20 imes10^{15}ions/cm^2$ dose. The deterioration of the perpendicular magnetic anisotropy and ferromagnetic properties can be attributed to the concentration profile change due to Ga+ ion implantation. The magnetic islands of $70 imes70nm^2;and;100 imes100nm^2$ size were successfully fabricated with $Ga^+$ ion irradiation.