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상변환 메모리의 응용을 위한 Ge2Sb2Te5 박막의 상변환 거동 평가
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  • 상변환 메모리의 응용을 위한 Ge2Sb2Te5 박막의 상변환 거동 평가
저자명
도우혁,김성순,배준현,차준호,김경호,이영국,이홍림,Do. Woo-Hyuk,Kim. Sung-Soon,Bae. Jun-Hyun,Cha. Jun-Ho,Kim. Kyung-Ho,Lee. Young-Kook,Lee. Hong-Lim
간행물명
한국세라믹학회지
권/호정보
2007년|44권 1호|pp.18-22 (5 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The phase transition behavior of $Ge_2Sb_2Te_5$ (GST) thin film, which is a candidate material of recording layer for phase change random access memory (PRAM), has been evaluated using an in-situ reflectance measurement method. The experimental data have been analyzed by using johnson-mehl-avrami-kolomogorov (JMAK) model. JMAK model can be used only in isothermal state. However, temperature changes with time during the operation of PRAM. To apply JMAK equation to PRAM simulation, it has been assumed that the temperature increases stepwise and isothermally. By using JMAK equation and assumption for the transient state, the phase transition behavior of GST thin film has been predicted under $3^{circ}C/min$ heating rate in this study. The simulation result agrees well with the experimental results. Therefore, It can be concluded that JMAK equation can be used far the PRAM simulation model.