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마이크로 플랫폼 상에 나노 감지 재료를 이용한 저전력 NOX 센서의 설계 및 제조
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  • 마이크로 플랫폼 상에 나노 감지 재료를 이용한 저전력 NOX 센서의 설계 및 제조
저자명
박상일,박준식,이민호,박광범,김성동,박효덕,이인규,Park. Sang-Il,Park. Joon-Shik,Lee. Min-Ho,Park. Kwang-Bum,Kim. Seong-Dong,Park. Hyo-Derk,Lee. In-Kyu
간행물명
대한임베디드공학회논문지
권/호정보
2007년|2권 2호|pp.76-81 (6 pages)
발행정보
대한임베디드공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A novel multi-layer type micro gas sensor for $NO_X$ detection was designed and fabricated. Micro platform defined as type II-1 in this article for micro gas sensor was fabricated using the MEMS technology to meet the demanding needs of lower power consumption. Nano composite materials were fabricated with nanosized tin oxide powder and $underline{m}$ulti-$underline{w}$all $underline{c}$arbon $underline{n}$ano $underline{t}$ube (MWCNT) to improve sensitivity. We investigated characteristics of fabricated multi-layer type micro gas sensor with $NO_2$ concentration variations at constant 2.2 V. Sensitivity (S) of micro gas sensor were observed to increase from 2.9, to 7.4 and 11.2 as concentrations of $NO_2$ gases increased from 2.4 ppm, to 3.6 ppm and 4.9 ppm. When 2.4 ppm of $NO_2$ gas was applied, response time and recovery time of micro gas sensor were recorded as 101 seconds and 142 seconds, respectively.