- See-saw Type RF MEMS Switch with Narrow Gap Vertical Comb
- See-saw Type RF MEMS Switch with Narrow Gap Vertical Comb
- ㆍ 저자명
- Kang. Sung-Chan,Moon. Sung-Soo,Kim. Hyeon-Cheol,Chun. Kuk-Jin
- ㆍ 간행물명
- Journal of semiconductor technology and science
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|7권 3호|pp.177-182 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전자공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
