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Nanochannels for Manipulation of DNA Molecule using Various Fabrication Molecule
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  • Nanochannels for Manipulation of DNA Molecule using Various Fabrication Molecule
  • Nanochannels for Manipulation of DNA Molecule using Various Fabrication Molecule
저자명
Hwang. M.T.,Cho. Y.H.,Lee. S.W.,Takama. N.,Fujii. T.,Kim. B.J.
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2007년|7권 4호|pp.254-259 (6 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this report, several fabrication techniques for the formation of various nanochannels (with $SiO_2$, Si, or Quartz) are introduced. Moreover, simple fabrication technique for generating $SiO_2$ nanochannels without nanolithography is presented. By using different nanochannels, the degree of stretching DNA molecule will be evaluated. Finally, we introduce a nanometer scale fluidic channel with electrodes on the sidewall of it, to detect and analyze single DNA molecule. The cross sectional shape of the nanotrench is V-groove, which was implemented by thermal oxidation. Electrodes were deposited through both sidewalls of nanotrench and the sealing of channel was done by covering thin poly-dimethiysiloxane (PDMS) polymer sheet.