- Self Displacement Sensing (SDS) Nano Stage
- Self Displacement Sensing (SDS) Nano Stage
- ㆍ 저자명
- Choi. Soo-Chang,Park. Jeong-Woo,Kim. Yong-Woo,Lee. Deug-Woo
- ㆍ 간행물명
- International journal of precision engineering and manufacturing
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|8권 2호|pp.70-74 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
