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Phase Modulation Homodyne Interferometer with a 10-pm Resolution Using a Tunable Laser Diode
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  • Phase Modulation Homodyne Interferometer with a 10-pm Resolution Using a Tunable Laser Diode
  • Phase Modulation Homodyne Interferometer with a 10-pm Resolution Using a Tunable Laser Diode
저자명
Ishige. Masashi,Matsuura. Fumio,Kawasugi. Masaaki,Aketagawa. Masato
간행물명
International journal of precision engineering and manufacturing
권/호정보
2007년|8권 2호|pp.80-84 (5 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We propose a new displacement measurement method using a phase modulation homodyne interferometer and a tunable laser diode as a light source to determine an arbitrary length with a resolution in the order of 10 pm. In the proposed instrument, the displacement of a movable mirror in the interferometer can be converted to a frequency shift of the tunable laser diode. We discuss the principles of the proposed method, the instrumentation, and the experimental results, and compare the proposed method with two commercial displacement sensors. The commercial sensors used are a heterodyne interferometer, the interpolation error of which is also measured, and a capacitive sensor.