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CFUBMS을 이용한 TiZrAlN 나노복합 박막의 미세 구조와 기계적 특성
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  • CFUBMS을 이용한 TiZrAlN 나노복합 박막의 미세 구조와 기계적 특성
저자명
김연준,이호영,김용모,김갑석,한전건,Kim. Youn-J.,Lee. Ho-Y.,Kim. Yong-M.,Kim. Kab-S.,Han. Jeon-G.
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2007년|40권 1호|pp.1-5 (5 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Quaternary TiZrAlN nanocomposite thin films were synthesized by Closed-Field Unbalanced Magnetron Sputtering (CFUBMS), and their microstructure and mechanical characteristics were examined. The grain refinement of the TiZrAlN nanocomposite thin films was controlled by adjusting the $N_2$ partial pressure. The hardness of the film varied with the $N_2$ partial pressure and the maximum value was obtained approximately 47 GPa. It was also confirmed that there is a critical value of the grain size($d_c$) to need maximum hardness.