- 잔류기체 분석기 교정장치 개발
- ㆍ 저자명
- 홍승수,임인태,김진태,Hong. S.S.,Lim. I.T.,Kim. J.T.
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|16권 2호|pp.91-98 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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한국표준과학연구원 진공기술센터에서 잔류기체분석기 교정장치를 개발하였으며, 이 장치를 이용하여 서로 다른 구조를 가진 두개의 사중극 질량분석기 (quadrupole mass spectrometer)의 질소, 아르곤, 헬륨에 대한 기체감도를 측정하였다. 그 결과 기체감도는 QMS 구조와 상관없이 기체의 질량이 클수록 높게 나타났고 압력에 따라서도 다른 특성을 보였으므로 정확한 사용을 위해서는 기체감도를 꼭 보정해야 함을 알 수 있었다.
The Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) has developed a residual gas analyzer (RGA) calibration system and measured gas sensitivities for two different types QMSs using nitrogen, argon, and helium. Different gas sensitivities were identified according to mass and pressure, so it was revealed that the gas sensitivity correction is necessary for proper use of mass spectrometers.