- PMMA 유기 게이트 절연막의 농도와 두께에 따른 특성
- Properties of Organic PMMA Gate Insulator Film at Various Concentration and Film Thickness
- ㆍ 저자명
- 유병철,공수철,신익섭,신상배,이학민,박형호,전형탁,장영철,장호정,Yoo. Byung-Chul,Gong. Su-Cheol,Shin. Ik-Sub,Shin. Sang-Bea,Lee. Hak-Min,Park. Hyung-Ho,Jeon.
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2007년|6권 4호|pp.69-73 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
